Invigon präsentiert auf der diesjährigen SEMICON Europe in Dresden gemeinsam mit confovis das automatisierte Waferinspektionssystem L300 zur Charakterisierung von Oberflächentexturen und zur Bestimmung von „Critical Dimensions“ von Wafern.

Die konfokalen Messsysteme von confovis erlauben eine berührungslose, schnelle und hochpräzise Analyse von Oberflächen zur Qualitätskontrolle und Prozessoptimierung in den verschiedensten Forschungs- und Industriebereichen.

Mit innovativer Software zur automatisierten Waferinspektion 

Unsere erweiterte Mess- und Analyse-Software AUTOAIM bietet über die klassischen Mess- und Analysemöglichkeiten hinaus spezielle Features für die Halbleiterbranche. Neben der automatischen Aufnahme und Auswertung klassischer wie konfokaler Mikroskopbilder steuert die Software auch die motorisierten Tische der Mikroskope. Dies ermöglicht die automatische zwei- und dreidimensionale Mustererkennung zur Vermessung von Vias, Langlöchern, Overlays und weiteren Oberflächenmerkmalen. Außerdem unterstützt die Software auch die AnanlyseAnalyse von Wafermaps, anhand dererbei der automatisch alle Chips auf einem Wafer vermessen werden. Programmierkenntnisse sind aufgrund der intuitiven Erstellung der Messrezepte nicht erforderlich. Dank der automatischen Messalgorithmen sind Reproduzierbarkeit und die Unabhängigkeit der Messergebnisse vom Benutzer gegeben. Ein weiteres Feature ist der intelligente, software-basierte Hardwareschutz. Dieser warnt den Anwender automatisch vor Aktionen, die Objektiv oder Probe beschädigen können.

Signifikante Ergebnisse und umfassende Kontrolle

Durch die automatische Aufnahme und Auswertung des Waferinspektionssystems L300 mit der AutoAIM-Software profitiert spart der Anwender von Zeitersparnis Zeit und profitiert von verlässlichen Messergebnissen. Im Gegensatz zur üblichen Stichprobe wird die Kontrolle sämtlicher Chips auf einem Halbleiter-Wafer ermöglicht. Nutzer erkennen auf einen Blick, ob die Höhe von Kontaktlöchern oder die Breite von Leiterbahnen auf allen Chips innerhalb der Toleranzen liegten und, wo es Abweichungen gibt. Durch die hohe Anzahl der Messungen sind die Ergebnisse zudem statistisch signifikant.

Ob in Forschung und Entwicklung oder im Bereich Qualitätssicherung: das optische Messsystem und die perfekt darauf abgestimmte Software erlauben eine einfach einzurichtende, sehr flexible automatische Waferanalyse.

Invigon AUTOAIM mit dem 3D-Mikroskopsystem confovis L300